Chlorfluoride, Chlormonofluorid, ClF, nahezu farbloses, äußerst aggressives Gas, F. -155,6 °C, Kp. -101,1 °C. ClF reagiert mit vielen Metallen sowie mit organischen Stoffen unter Feuererscheinung und greift Glas unter Bildung explosiver Chloroxide an. Man erhält es durch Vereinigung von Chlor mit Fluor bei 250 °C.

Chlortrifluorid, ClF₃, farbloses Gas, das sich leicht zu einer hellgrünen Flüssigkeit verdichten läßt;, F. -76,32 °C, Kp. 11,75 °C. ClF₃-Moleküle weisen eine T-förmige Struktur auf. Man erhält ClF₃ durch Umsetzung der Elemente bei 200 bis 300 °C, reinigt es durch Umsetzung mit Kaliumfluorid zu KClF₄ und thermische Zersetzung dieses Salzes bei 130 bis 150 °C. Das außerordentlich reaktionsfähige ClF₃ ist ein Handelsprodukt. Man verwendet es zur Überführung von Uran in UF₆, welches als leichtflüchtige Verbindung zur Isotopenanreicherung eingesetzt wird U + 3ClF₃→ UF₆ + 3 ClF. Darüber hinaus reagiert Plutonium mit ClF₃ zu nicht-flüchtigem PuF₄, so daß Pu-Spaltprodukte auf diese Weise leicht abgetrennt werden können.

Chlorpentafluorid, ClF₅, Moleküle quadratisch pyramidaler Struktur bildendes Gas, F. -103 °C,
Kp. -13,1 °C. ClF₅ übertrifft in seiner Reaktivität noch ClF₃. Oberhalb 165 °C liegt es gemäß ClF₅ → ClF₃ + F₂ im Gleichgewicht mit ClF₃ und F₂ vor. Man erhält es durch Reaktion von F₂ mit ClF₃ oberhalb 200 °C oder durch Umsetzung von KCl und Fluor bei 200 °C unter Druck: KCl + 3 F₂ → KF + ClF₅.