Lexikon der Optik: Ablation mit Lasern
Ablation mit Lasern, Verfahren der Stoffabtragung durch laserinduzierte Molekülspaltung. Durch intensive Laserimpulse im UV-Bereich können insbesondere große organische Moleküle in energetisch hochliegenden elektronischen Zuständen angeregt und dissoziiert werden. Dieser Prozeß wird z.B. beobachtet, wenn die intensiven Strahlungsimpulse von kurzwelligen Excimerlasern (z.B. ArF-Laser) auf Polymerschichten fokussiert werden. Durch die kurzzeitige Erzeugung von energiereichen Dissoziationsfragmenten in einem kleinen Volumenbereich wird lokal ein starker Druckanstieg hervorgerufen, der zu einer explosionsartigen Abtragung des betroffenen Materials führt. Man erhält dabei scharfkantige Gräben mit hoher Kantensteilheit. Das Verfahren ist daher für die Mikrostrukturierung unterschiedlicher Materialien von großer Bedeutung. Ein wesentliches Merkmal der A. m. L. besteht darin, daß keine merklichen Wärmedefekte im Target-Material auftreten, so daß auch sehr wärmeempfindliches Material (z.B. biologisches Gewebe) damit behandelt werden kann.
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