Lexikon der Optik: chemisches Ätzen mit Lasern
chemisches Ätzen mit Lasern, eine Laseranwendung in der Photochemie. Zum Zwecke des Ätzens einer Festkörperoberfläche (Substrat) werden in der Regel halogenhaltige Gase, die sich in Substratnähe befinden, durch die Laserstrahlung angeregt oder dissoziiert. Die angeregten Moleküle bzw. die erzeugten Radikale (Radikalenerzeugung durch Laserstrahlung) reagieren dann mit den Atomen des Substrates. Sind die entstehenden Reaktionsprodukte flüchtig (z.B. SiF4), werden sie mit dem Gasgemisch abgepumpt. Handelt es sich um nichtflüchtige Verbindungen, kann die laserstimulierte Desorption zum Abtrag genutzt werden. Im letzteren Falle ist eine direkte Wechselwirkung des Laserlichtes mit der Substratoberfläche erforderlich. Ansonsten kann man auch – insbesondere dann, wenn eine Erwärmung des Substrates vermieden werden soll – die fokussierte Laserstrahlung parallel zur Substratoberfläche ausrichten.
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