Lexikon der Optik: optische Oberflächenprüfverfahren
optische Oberflächenprüfverfahren, die zur Prüfung der Oberflächengestalt und der Oberflächenstruktur angewandten optischen Verfahren.
a) Die Formprüfung der Oberflächengestalt wird am genauesten mittels Interferenzverfahren durchgeführt. Bei der Bearbeitung optischer Flächen geschieht dies durch Probegläser oder mittels geeigneter Interferometer, die einen Vergleich mit entsprechenden Referenzflächen erlauben (Optikprüfung). Im Mikrobereich (Untersuchung der Form kleiner Flächenelemente) benutzt man zweckmäßig ein einobjektiviges Interferenzmikroskop mit auswechselbarer Vergleichsfläche oder mißt die Abweichungen von der Ebene.
b) Zur Prüfung der Oberflächenstruktur hat man verschiedene Möglichkeiten. Eine einfache optische Methode ist die Prüfung des Traganteils und das Lichtschnittverfahren. Weiterhin ist das Interferenzmikroskop ein häufig angewandtes Gerät; auf diese Weise werden Rauhtiefen (mittlerer Höhenunterschied im Profilschnitt) von weniger als 5 nm erfaßt. Noch empfindlicher ist die Vielstrahlinterferenz. Diese Technik kann jedoch nur unter bestimmten Voraussetzungen (Stufen, Schichten u.a. und bei geringer Apertur) angewandt werden.
Für spezielle Oberflächenuntersuchungen und solche im ultramikroskopischen Bereich werden vielfach auch Elektronenmikroskope eingesetzt.
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