Lexikon der Optik: optische Präzisionsmessung
optische Präzisionsmessung, die Anwendung optischer Verfahren zur Präzisionsmessung von Längen und Winkeln. Dabei werden insbesondere in optischen Längenmeßgeräten verschiedene optische Effekte so ausgenutzt, daß hohe und höchste Meßgenauigkeiten erzielt werden. Weitere wesentliche Vorteile der o. P. bestehen in der im allgemeinen berührungslosen Antastung, in einer hohen Automatisierbarkeit und der schnellen Signalerfassung.
Bei der o. P. unterscheidet man im wesentlichen inkrementale Meßverfahren, interferometrische und abbildende Verfahren (optische Längenmeßgeräte). Die Entwicklung der letzten 20 Jahre hat gezeigt, daß inkrementale Meßverfahren die Automatisierung in der industriellen Fertigung wesentlich beschleunigt haben. Damit wird auch zukünftig den erhöhten Genauigkeitsanforderungen Genüge getan. In Kombination mit Computertechnik werden Genauigkeiten von 10 nm oder 0,1″ erreicht.
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