Lexikon der Optik: Schichtabscheidung mit Lasern
Schichtabscheidung mit Lasern, Verfahren zur Stimulierung von Schichtabscheidungsprozessen durch Laserlicht. Die Laserstrahlung wird dabei entweder direkt zur Induzierung der photochemischen Reaktionen eingesetzt, deren Folgeprodukte zur Schichtbildung führen, oder sie unterstützt und beschleunigt relativ langsam ablaufende Reaktionen der Schichtabscheidung. Die wichtigste Methode ist die laserchemische Abscheidung aus der Dampfphase, die entweder durch das Aufheizen des Gases (laserpyrolytische Reaktion) oder selektiv durch Lasereinstrahlung bei einer bevorzugten Wellenlänge (laserphotolytische Reaktion) induziert wird. Eine besondere Rolle spielt bei der S. m. L. aus der Gasphase die auf der Substratoberfläche befindliche adsorbierte Schicht von Ausgangsmolekülen. Hier kann – bei relativ kleinen Energiedichten des senkrecht eingestrahlten Laserlichtes – eine Pränukleation, eine Vorbildung von Keimen stattfinden, die dann Ausgangspunkt für das weitere Keimwachstum und die Schichtbildung ist. Die S. m. L. kann sowohl großflächig als auch strukturiert mit hoher räumlicher Auflösung erfolgen (Mikrostrukturierung).
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