Vielwellenlängeninterferometrie, interferometrisches Verfahren, bei dem zum Zwecke der Verringerung des Höhenlinienabstandes (des zwei benachbarten Interferenzstreifen entsprechenden Dickenunterschiedes der durchstrahlten keilförmigen Schicht) gleichzeitig Licht dicht beieinanderliegender, äquidistanter Wellenlängen eingestrahlt wird. Derartiges Licht erhält man z.B. dadurch, daß man ein Fabry-Perot-Etalon in axialer Richtung mit breitbandigem Lichte (gefiltertem Weißlicht) bestrahlt. Es wird dann Licht nur bei den Wellenlängen λ_M=2D/M hindurchgelassen, wobei D die Dicke des Etalons und M die Ordnung der Interferenz bezeichnen. Die Wellenlängen λ_M sind in guter Näherung äquidistant.

Die zu prüfende Oberfläche befindet sich in einem Fizeau-Interferometer (Abb. 1). Sorgt man dafür, daß D N-mal so groß ist wie der Plattenabstand im Fizeau-Interferometer an einer bestimmten Stelle (N eine ganze Zahl), dann fällt die Ordnung m beim Fizeau-Interferometer mit der Ordnung M=Nm beim Fabry-Perot-Etalon zusammen. Zwei Interferenzstreifen, die bei benachbarten Wellenlängen, jedoch in gleicher Ordnung m auftreten, entspricht dann ein Dickenunterschied (Höhenlinienabstand) Δd=λ/(2N) der Luftschicht im Fizeau-Interferometer (Abb. 2). Um die Zählung der Streifen zu vereinfachen, strahlt man gleichzeitig Licht einer Spektrallampe ein, das helle Streifen mit dem Streifenteilwert λ/2 liefert.

Vielwellenlängeninterferometrie 1: Kombination eines Fabry-Perot- mit einem Vielstrahl-Fizeau-Interferometer.

Vielwellenlängeninterferometrie 2: Interferogramme einer Planflächenkombination nach dem Verfahren gemäß Abb. 1. Der Höhenlinienabstand beträgt in der Reihenfolge von links oben nach rechts unten λ/50, λ/10, λ/30 und λ/50 (Wellenlänge λ = 546 nm). Die beiden hellen Streifen links oben rühren von der Spektrallampe her.