Lexikon der Optik: Multipass-Interferometrie
Multipass-Interferometrie, ein interferometrisches Verfahren, bei dem ein Teilstrahl, der den Prüfling N-mal passiert hat oder von seiner Oberfläche N-mal reflektiert wurde, mit einem Referenzstrahl zur Interferenz gebracht wird. Dabei bedeutet N eine große ganze Zahl. Dem Streifenabstande entspricht dann bei Messungen von Höhenprofilen ein Höhenunterschied der Größe λ/(2N), wobei λ die Wellenlänge bezeichnet. Für die M. kann ein Twyman-Green-Interferometer, kombiniert mit einem Vielstrahl-Fizeau-Interferometer, verwendet werden (Abb.). Durch geeignete Wahl des Neigungswinkels im Fizeau-Interferometer, entsprechende Neigung des Referenzspiegels und Ortsfrequenzfilterung wird erreicht, daß nur diejenige Teilwelle, die im Fizeau-Interferometer N-mal hin und hergelaufen ist, mit der Referenzwelle interferiert.
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Multipass-Interferometrie: Anordnung, bestehend aus der Kombination eines Vielstrahl-Fizeau-Interferometers mit einem Twyman-Green-Interferometer.
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