Lexikon der Optik: Röntgentopographie
Röntgentopographie, eine röntgenographische Methode zur Untersuchung der Beschaffenheit von Kristalloberflächen oder des Inneren von dünnen Kristallplättchen. Man läßt monochromatische, parallele Röntgenstrahlen unter einem solchen Winkel auf einen Kristall fallen, daß die Braggsche Reflexionsbedingung für eine ausgewählte Netzebenenschar erfüllt ist. Dazu ist eine sehr genaue Orientierung des Kristalls bezüglich der Einfallsrichtung des Röntgenlichtes erforderlich. Die an den Netzebenen reflektierten Röntgenstrahlen erzeugen dann auf einem in der Nähe des Kristalls befindlichen Röntgenfilm ein Interferenzbild von sehr feiner Struktur. Bei Oberflächenuntersuchungen werden Netzebenen nahe der Kristalloberfläche ausgewählt, die zu letzterer parallel sind oder einen kleinen Winkel mit ihr einschließen (Rückstrahlanordnung), bei der Untersuchung des Kristallinneren sind es Netzebenen, die mit der Einfallsebene einen rechten (oder einen wenig davon abweichenden) Winkel einschließen (Durchstrahlanordnung). Die durchstrahlbaren Kristalldicken liegen je nach Art des Materials zwischen 50 μm und 1 mm. Störungen des periodischen Gitteraufbaus von Kristallen machen sich auf dem feinkörnigen Filmmaterial als Abweichungen der Schwärzungsverteilung von der dem ungestörten Gitter entsprechenden bemerkbar. Das Schwärzungsbild wird durch lichtmikroskopische Nachvergrößerung sichtbar gemacht. Es lassen sich so Kristallbaufehler wie Versetzungen, Stapelfehler und Zwillingsgrenzen nachweisen. Besondere Bedeutung hat die R. als Prüfverfahren in der Halbleiterindustrie gewonnen.
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